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| 參數 | ArF 類型 | ArF 類型 | ArF 類型 | KrF 類型 | KrF 類型 | KrF 類型 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 波長（納米） | 193 | 193 | 193 | 248 | 248 | 248 |
| 最大重復頻率（赫茲） | 200 | 500 | 1000 | 200 | 500 | 1000 |
| 穩定脈沖能量（毫焦） | 6 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 |
| 穩定脈沖功率（瓦） | 1.2 | 3.0 | 6.0 | 2.0 | 5.0 | 10 |
| 能量穩定性（標準差，%） | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 光束尺寸（半高寬，垂直 × 水平 毫米） | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 | 6×3 |
| 光束發散角（半高寬，垂直 × 水平 毫弧度） | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 | 2×1 |
| 脈沖寬度（半高寬）（納秒） | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
MLI-200 / 500 / 1000 是 MLase AG 推出的緊湊型單相準分子激光器，分為 ArF（193 納米波長）和 KrF（248 納米波長）兩大系列。產品采用剛性設計與全金屬密封燈管，搭配電暈預電離技術和固態電路，具備高可靠性與超長使用壽命，可承受數十億次脈沖操作。其核心優勢包括均勻的光束輪廓、即時啟用無老化問題、能量穩定且易于集成，適用于多種需要精準激光處理的工業場景。
